1. Chemical-mechanical polishing of low dielectric constant polymers and organosilicate glasses
پدیدآورنده : / by Christopher L. Borst, William N. Gill, Ronald J. Gutmann
کتابخانه: کتابخانه پردیس بین الملل كیش دانشگاه تهران (هرمزگان)
موضوع : Interconnects (Integrated circuit technology),Semiconductors -- Polishing,Grinding and polishing,Chemical mechanical planarization
رده :
TK
7874
.
53
.
B67
2002
